先转载今年早些的新闻—— (这次的新禁令在文章下方)
https://www.163.com/dy/article/I8QH35OM05119JRD.html
荷兰芯片禁令中最后的一个“漏洞”:光刻机,能支持7nm工艺
紧随美国、日本,近日荷兰终于也发布了芯片禁令,并表示将于2023年9月1日正式生效。
如之前预计的一样,荷兰的芯片禁令,主要针对的对象为先进确实为先进的芯片制造技术,包括先进的沉积设备和浸润式光刻系统等。
从具体的条款来看,任何与EUV有关的设备全部卡死。甚至是在禁令发布之前已经销售出去光刻机,目前已经在正常运行的,但只要是禁令中不允许的,后续的维修、保养等,都需要许可证。
荷兰官方表示,这个禁令可以解决当前政策下“最重要的漏洞”,同时也将尽可能不扰乱全球芯片生产。
不过,在这个禁令之中,其实还是有一个“漏洞”的,那就是荷兰规定可以销售的光刻机中,还是有一台,能够支持到7nm工艺,这个堪称最后的“漏洞”了,因为其它所有与7nm相关的一切技术、设备都卡住了。
按照荷兰的规则,光刻机中,具有以下任一项或两项标准的,就不能够出口,需要许可证书,这两个标准是
1、光源的波长短于193nm,小于193nm波长的光刻机,目前只有EUV光刻机,所以EUV是禁止的。
2、光源的波长等于或大于193nm时,如果能够产生具有45nm或更小的可分辨特征尺寸(MRF)的图案,同时小于或等于1.50nm的最大专用卡盘覆盖(DCO)值。
这里大家注意的是条件是并列的,采用193nm波长光源,分辨率要小于45nm,同时DCO值小于1.5nm。
按照ASML的光刻机参数,目前在售的三种浸润式光刻机中TWINSCAN NXT:2050Di、TWINSCAN NXT:2000i是满足以上三个条件的,不能出口。
但NXT1980Di的分辨率为38纳米左右,是小于45nm的,但是其DCO值是1.6nm,大于1.5nm了,所以NXT1980系列依然可以不受出口限制影响。
所以NXT1980Di是目前国内能够买到最先进的光刻机,其它的比NXT1980Di先进的都不能购买。
那么NXT1980Di能生产多少nm的芯片?NXT:1980Di采用的是193nm的光源,但经过一层水后,等效为134nm波长的光源,其分辨率(MRF)在38nm左右,每小时的生产晶圆数量为275wph,数值孔径为1.35NA。
在实际应用中,可以用于生产7nm芯片,按照媒体的报道称,台积电的第一代7nm工艺就是基于 NXT:1980Di 实现的,后来才升级为EUV 7nm工艺。
目前有数台NXT 2050i交付,后续订单应该能赶上交付,但是总数不会超过10台,这已经是目前能从尼德兰买到最好最新锐的设备了,且用且珍惜。
至于NXT 1980Di当年也是机皇。2年前,闹闹的沸沸扬扬的唯一7机被抵押,就是它。
在TSMC第一版的N7工艺中,当时还没有EUV,就是用NXT 1980Di配合多曝工艺实现的,所以理论上NXT1980Di是能够做到N7。
可以说NXT 1980Di 还能卖,给后续N+1,N+2工艺留了一口气。
所以这是唯一的漏洞了,因为这台光刻机最高可支持7nm,但大多数情况下也生产28nm、14nm芯片,所以没被全面卡死。
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PS:哈哈,所以华为的麒麟芯片到底是怎么来的事实已经很清晰了,就是因为荷兰和美国留了这个口子,小粉红们知道事实恐怕要失望了
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而根据最新的禁令(这个是这次跟4090同一波的新闻):
此外,此次新规还对更多半导体制造设备施加以出口限制,并进一步完善对“美国人士”的限制,将半导体制造设备的许可要求扩大到20余个国家,包括中国、阿富汗、白俄罗斯、缅甸、柬埔寨、中非共和国、刚果民主共和国、古巴、塞浦路斯、厄立特里亚、海地、伊朗、伊拉克、朝鲜、利比亚、黎巴嫩、俄罗斯、索马里、南苏丹、苏丹共和国、叙利亚、委内瑞拉和津巴布韦。
BIS明确,对达到一定参数的光刻设备和“特殊设计”物项,如果用于研发生产先进芯片,将受到0%的“最小法则”的长臂管辖,即在美国之外的国家,公司只要使用到了上述物项,美国都有权管制他们的出口、再出口或国内转移。对于特殊物项,参数红线为:拥有的光源波长不超193nm,并能够生产“最小可解析特征尺寸” (MRF)的格式小于等于45nm,且最大“专用卡盘覆盖”(DCO)值小于或等于2.4nm。
根据新规,这影响到荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)目前能对华出口的最先进的光刻机NXT1980Di,受到新规“小于等于2.4nm”限制,ASML中高端浸润式DUV(深紫外光)设备NXT1980Di也将限制卖到中国。在此之前,ASML的EUV(极紫外光)设备和高端DUV设备NXT:2000i、2050i、2100i已不再卖给中国,涉及最高10nm及以下。
PS:我想华为看到这个新闻肯定心里咯噔一下吧?我赌他的麒麟芯片9成9就是用这台光刻机刻录的,要不他怎么一直支支吾吾不然提芯片来源的事呢?以后全中国大陆的芯片商都要去挤这10台仅有的DUV光刻机,然后后续维修保养都要美国许可,那还有戏吗?准备看乐子咯
众位葱油们怎么看?
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